अर्धचालक वेफर निर्माणमा, लिथोग्राफी प्रक्रिया एक महत्वपूर्ण, परिशुद्धता-संचालित चरण हो जसले चिप उपज निर्धारण गर्दछ। वेफर निर्माण प्रक्रियामा "एक्सपोजर र इमेजिङको कोर" को रूपमा, लिथोग्राफीले सम्पूर्ण कार्यप्रवाहलाई समेट्छ - स्पिन कोटिंग, एक्सपोजर, विकास, एचिंग, र भिजेको सफाई सहित - र वातावरणीय स्वच्छता, अशुद्धता नियन्त्रण, इलेक्ट्रोस्टेटिक सुरक्षा, र रासायनिक प्रतिरोधमा अत्यन्त कडा आवश्यकताहरू लागू गर्दछ। माइक्रोन-स्तरको धुलो कणहरू, ट्रेस आयन माइग्रेसन, र क्षणिक इलेक्ट्रोस्टेटिक डिस्चार्जहरूले प्रत्यक्ष रूपमा फोटोरेसिस्ट दोषहरू, ढाँचा गलत संरेखण, वेफर अक्सिडेशन, र सर्किटहरूमा माइक्रो-सर्ट सर्किटहरू निम्त्याउन सक्छन्, जसले सम्पूर्ण वेफरहरू स्क्र्याप गर्न र ठूलो उत्पादन घाटा निम्त्याउन सक्छ। धेरै FAB हरूले आफ्नो फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाहरूको उपज सुधार गर्न संघर्ष गर्छन्। उपकरण, प्रक्रियाहरू, र वातावरणीय प्यारामिटरहरू सबै क्रमबद्ध हुँदा पनि, अवरोध प्रायः नगण्य हात सुरक्षा उपभोग्य वस्तुहरूमा हुन्छ। साधारण कक्षा १,००० वा औद्योगिक-ग्रेड क्लिनरूम पन्जाहरू फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियाको अति-उच्च स्तरहरूको लागि पूर्ण रूपमा अनुपयुक्त हुन्छन्।
लिथोग्राफी प्रक्रियामा साधारण क्लिनरूम पन्जाको प्रयोग किन कडाइका साथ निषेध गरिएको छ?
पाउडर अवशेषले फोटोरेसिस्ट प्रदूषण निम्त्याउँछ
अत्यधिक सल्फर र क्लोराइड आयनहरूले वेफरहरूमा सर्किटहरूलाई कुरूप बनाउँछन्।
स्थिर विद्युत नियन्त्रण बाहिर गयो, जसले गर्दा प्रेसिजन फोटोलिथोग्राफी वेफरमा ब्रेकडाउन भयो।
उत्पादन प्रक्रियामा बाह्य पदार्थको दोष निम्त्याउने, फ्लेकिङ्ग र झर्ने
LjieClean कक्षा १०० पाउडर-रहित नाइट्राइल पन्जा
सुझाउ लिडरले सेमीकन्डक्टर वेफर उत्पादन क्षेत्रमा ध्यान केन्द्रित गरिरहेको छ र लिथोग्राफी प्रक्रियामा समस्याहरू समाधान गर्दै, हामीले विशेष कक्षा १०० पाउडर-रहित, कम-आउटग्यासिङ नाइट्राइल पन्जाहरू विकास गरेका छौं जसले सम्पूर्ण वेफर लिथोग्राफी प्रक्रियाको उत्पादन आवश्यकताहरू पूर्ण रूपमा पूरा गर्दछ, जसले गर्दा तिनीहरूलाई धेरै फ्याबहरू र वेफर प्याकेजिङ र परीक्षण कम्पनीहरूको लागि मनपर्ने सुरक्षात्मक उपभोग्य वस्तुहरू बनाइएको छ।
१.डाइक्लोराइड-आधारित पाउडर-मुक्त प्रक्रिया: फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियामा कुनै पाउडर प्रदूषण हुँदैन।
अर्धचालक-विशिष्ट क्लोरिनेसन शुद्धीकरण प्रक्रिया प्रयोग गर्दै, यो विधिलाई सम्पूर्ण प्रक्रियाभरि ट्याल्क, कर्नस्टार्च, वा सिलिकन तेल जस्ता सहायक additives थप्न आवश्यक पर्दैन। यसले प्रक्रियाभरि नै सहज प्रयोग सुनिश्चित गर्दछ, स्रोतमा फोटोरेसिस्टलाई दूषित गर्ने पाउडर कणहरू र सिलिकन तेलको अवशेषहरू हटाउँछ, जसले गर्दा फोटोलिथोग्राफी प्रक्रियामा विदेशी कण दोषहरू पूर्ण रूपमा समाधान हुन्छन्।
२ बहु-चरणीय अल्ट्राप्योर पानीले कुल्ला गर्दा कम सल्फर, कम क्लोरिन र कम आयन सामग्री प्राप्त हुन्छ।
उच्च-शुद्धता पानीले गहिरो कुल्ला गर्ने धेरै चक्रहरू मार्फत, कच्चा पदार्थ additives र सतह अवशेषहरू हटाइन्छ। सल्फर, क्लोरीन, र घुलनशील धातु आयनहरूको सामग्री कडाइका साथ नियन्त्रण गरिन्छ, जसको परिणामस्वरूप कम NVR (गैर-वाष्पशील अवशेष) हुन्छ। यसले वेफर अक्सिडेशन, कोटिंग जंग, र एचिंग दोषहरूलाई रोक्छ, जसले गर्दा पन्जाहरू ८- र १२-इन्च वेफरहरूको लागि माग गर्ने लिथोग्राफी प्रक्रियाहरूसँग पूर्ण रूपमा उपयुक्त हुन्छन्।
इलेक्ट्रोस्टेटिक-संवेदनशील वेफरहरूको सुरक्षा गर्न ३ इन-मोल्ड परिमार्जित ESD सुरक्षा
अस्थायी स्प्रे कोटिंग्स भएका व्यावसायिक रूपमा उपलब्ध एन्टी-स्टेटिक ग्लोभ्सहरू भन्दा फरक, गोनार्सले नाइट्राइल बेस सामग्रीमा इन-मोल्ड एन्टी-स्टेटिक परिमार्जन प्रविधि प्रयोग गर्दछ। यसले स्थिर र एकरूप सतह प्रतिरोध सुनिश्चित गर्दछ, स्थिर बिजुलीलाई सम्पूर्ण प्रक्रियाभरि निरन्तर रूपमा फैलाउँदै स्थिर निर्माणलाई रोक्न जसले फोटोरेसिस्टको ब्रेकडाउन र प्रेसिजन वेफर सर्किटहरूमा क्षति पुर्याउन सक्छ। यो एक्सपोजर र विकास जस्ता कोर लिथोग्राफी चरणहरूको लागि उपयुक्त छ।
४ लचिलो र सहज फिट, माइक्रोन-स्तरको प्रेसिजन अपरेशनहरूको लागि उपयुक्त
पन्जाको सामग्री लचिलो छ र हातको रूपरेखा अनुरूप छ। औंलाको छेउमा नन-स्लिप टेक्स्चर डिजाइन भएको, यो हल्का र नन-बोल्की छ, जसले गर्दा यसलाई फोटोलिथोग्राफी वेफर ह्यान्डलिङ, उपकरण डिबगिङ, र सटीक निरीक्षण जस्ता सटीक कार्यहरूको लागि आदर्श बनाउँछ। यसले अप्रतिबन्धित आन्दोलन प्रदान गर्दछ र चिप्लनबाट रोक्छ, म्यानुअल अपरेशनको क्रममा आकस्मिक बम्पहरूबाट हुने क्षतिलाई प्रभावकारी रूपमा कम गर्दछ। थप रूपमा, यो फोटोलिथोग्राफी सॉल्भेन्टहरू र हल्का एसिड र क्षारहरूको प्रतिरोधी छ, र लामो समयसम्म प्रयोग गर्दा पनि बुढ्यौली वा च्यातिए बिना टिकाउ रहन्छ।
5
✅ डबल-लेयर भ्याकुम-सिल गरिएको प्याकेजिङले माध्यमिक प्रदूषण हटाउँछ।
समाप्त उत्पादनहरू सम्पूर्ण प्रक्रियाभरि डबल-लेयर भ्याकुम-सिल गरिएको प्याकेजिङ प्रयोग गरेर कक्षा १०० क्लिनरूममा प्याकेज गरिन्छ, जसले भण्डारण र ढुवानीको समयमा तिनीहरूलाई धुलो र ओसिलोपनबाट पूर्ण रूपमा अलग गर्छ। प्याकेज खोल्दा कुनै माध्यमिक प्रदूषण हुँदैन, जसले गर्दा तिनीहरूलाई कक्षा १०० लिथोग्राफी क्लिनरूमहरूमा तुरुन्तै प्रयोग गर्न सकिन्छ।
पोस्ट समय: जुलाई-२३-२०२६